キヤノン、KrF露光装置のスループットを毎時300枚に引き上げるオプションを発売 （マイナビ）

キヤノンは6月13日、2012年4月に発売した半導体露光装置であるKrFスキャナ「FPA-6300ES6a」について、300mmウェハで毎時300枚のスループットを実現する生産性向上オプション「Grade10」を2022年8月上旬より提供すると発表した。 FPA-6300ES6aの外観 (画像提供:キヤノン) 半導体メーカーからは高スルー…