新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)、名古屋大学(名大)、Mipoxの3者は6月30日、非破壊・低コストで半導体結晶ウェハ内部の結晶欠陥(転位)を可視化し、製品の耐圧特性を劣化させる「キラー欠陥」を自動検査するシステムの共同研究を行い、転位をカウントするシステムの構築と、ウェハ全体の転位…
新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)、名古屋大学(名大)、Mipoxの3者は6月30日、非破壊・低コストで半導体結晶ウェハ内部の結晶欠陥(転位)を可視化し、製品の耐圧特性を劣化させる「キラー欠陥」を自動検査するシステムの共同研究を行い、転位をカウントするシステムの構築と、ウェハ全体の転位…