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2022年6月にハワイで開催され、7月5日時点でオンデマンド放映が行われている「2022 IEEE Symposium on VLSI Technology＆Circuits(VLSIシンポジウム)」にて、ASMLのプレジデント兼CTO(最高技術責任者)であるMartin van den Brink氏が、「2020年代以降の最先端半導体製造への総合的なパターニング」と題…