米政府がArF液浸露光装置の中国への輸出禁止を日蘭政府に要請か？、米紙報道 （マイナビ）

米国政府が、オランダ政府に対し、半導体露光装置メーカーASMLがDUV露光装置を中国に販売することを禁止するよう要請していると米国の経済メディアが7月5日付(米国時間)で報じている。 事情に詳しい関係者の話という形だが、DUV露光装置の中でも先端プロセスに対応可能なArF液浸露光装置(ArFi)の輸出を…