半導体ウエハー洗浄時のナノ構造倒壊、北大などが撮影に成功した意義 （ニュースイッチ）

北海道大学の木村勇気准教授らはSCREENホールディングスと共同で、半導体ウエハーの洗浄時に微細構造が壊れる様子を撮影することに成功した。透過型電子顕微鏡の真空中で液体に濡れたナノ構造体を乾燥させる。わずかに残った水が表面張力で構造物を倒壊させた。先端半導体製造プロセスの課題解決につな…