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[東京 8日 ロイター] – 総務省は8日、東京エレクトロンと子会社に対して、許可を受けずに高周波利用設備を設置し運用していたとして、行政指導を行ったと発表した。今後、このような事態が起きないよう指導した。同社の広報担当によると、半導体製造装置に搭載の高周波電源等の使用に関し、電波法上…