総務省は8日、半導体製造装置大手の東京エレクトロンを行政指導した。半導体製造に使う高周波利用設備を電波法の許可を受けずに設置していた。同社は無許可設置を認め、既に許可を受ける手続きをしたという。半導体製造装置の高周波電源やオゾンガス発生装置など計793台の高周波利用設備を無許可で設置…
総務省は8日、半導体製造装置大手の東京エレクトロンを行政指導した。半導体製造に使う高周波利用設備を電波法の許可を受けずに設置していた。同社は無許可設置を認め、既に許可を受ける手続きをしたという。半導体製造装置の高周波電源やオゾンガス発生装置など計793台の高周波利用設備を無許可で設置…