日本酸素、レアガス生産能力2倍に 半導体製造向け （日本経済新聞）

日本酸素ホールディングス傘下の大陽日酸は、半導体製造工程に使用するレアガス（希ガス）のクリプトンとキセノンを増産すると発表した。JFEスチールと共同出資するJFEサンソセンター（広島県福山市）に製造装置を設置する。2024年4月の稼働を予定し、生産能力はともに現在の約2倍となる。7?8割を輸入…