インテル初のEUV露光を採用したIntel 4プロセスの詳細 インテル CPUロードマップ (1/3)
連載673回でも触れたが、インテルはようやく初のEUV(極端紫外線)露光を採用したIntel 4プロセスの詳細を、6月に開催されたVLSIシンポジウムで発表した。 まだ開催されてから時間が経っていないこともあって、IEEEのサイトには論文が掲載されていないが、今月中には公開されると思われる。今回は論文の方ではなく、実際…
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