大阪有機化学、半導体材料、EUV関連など攻勢 （）

【大阪】大阪有機化学工業は最先端のEUV（極紫外線）関連材料で攻勢をかける。同社は半導体材料事業において、主力のArF（フッ化アルゴン）レジスト用モノマーに加えて、EUVレジスト用モノマーを手がけており、なかでもEUV材料は2021年に19年比で売上高が1・7倍に増加した。現在EUV材料の比率は全体の4…