ウシオグループ、先端パッケージ向け露光装置開拓 （）

ウシオ電機は、グループで先端半導体パッケージング向け露光装置の市場開拓を進める。線幅／間隔（L／S）1～10マイクロメートルの領域に照準。ウシオ電機がコンタクトレスの分割投影露光装置（ステッパー）、子会社のアドテックエンジニアリングがダイレクトイメージング（DI）装置を提案し、両対応を…