キヤノン<7751>は13日、半導体露光装置KrFスキャナー「FPA－6300ES6a」の生産性向上オプション「Grade10」を8月上旬に発売すると発表した。 新たに発売する生産性向上オプション「Grade10」は、露光ステージや基板搬送系の駆動を高速化することで露光時間と基板搬送時間を短縮し、300mm基板において毎…
キヤノン<7751>は13日、半導体露光装置KrFスキャナー「FPA－6300ES6a」の生産性向上オプション「Grade10」を8月上旬に発売すると発表した。 新たに発売する生産性向上オプション「Grade10」は、露光ステージや基板搬送系の駆動を高速化することで露光時間と基板搬送時間を短縮し、300mm基板において毎…