住友化学は半導体用フォトレジストのグローバル体制を強化する。マザー拠点の大阪工場（大阪市此花区）では先端レジストの開発・評価新棟が立ち上がり、増強を進めていた液浸ArF（フッ化アルゴン）とEUV（極紫外線）の両レジストも今年から稼働入りした。今後さらに2023年度以降の稼働予定で大阪工場と…
住友化学は半導体用フォトレジストのグローバル体制を強化する。マザー拠点の大阪工場（大阪市此花区）では先端レジストの開発・評価新棟が立ち上がり、増強を進めていた液浸ArF（フッ化アルゴン）とEUV（極紫外線）の両レジストも今年から稼働入りした。今後さらに2023年度以降の稼働予定で大阪工場と…