住友化学は半導体用フォトレジストのグローバル体制を強化する。マザー拠点の大阪工場（大阪市此花区）では先端レジストの開発・評価新棟が立ち上がり、増強を進めていた液浸ＡｒＦ（フッ化アルゴン）とＥＵＶ（極紫外線）の両レジストも今年から稼働入りした。今後さらに２０２３年度以降の稼働予定で大阪工場と韓国工場で液浸ＡｒＦとＥＵＶの両レジストを増強する計画。高まる先端レジストの需要に対し、評価体制と生産体制の両面で応えていく。続きは本紙で
高まる需要に対しグローバル体制を強化する
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