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東北大学など、次世代半導体の寿命長く 材料の製造法開発

東北大学など、次世代半導体の寿命長く 材料の製造法開発

日経の記事利用サービスについて 企業での記事共有や会議資料への転載・複製、注文印刷などをご希望の方は、リンク先をご覧ください。 詳しくはこちら 東北大学や日本製鋼所、三菱ケミカルの研究グループは、次世代半導体の基板材料として期待されている窒化ガリウム(GaN)結晶の新しい製造手法を開発した。結晶中にで…

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